International Standard
ISO 13084:2018
Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
Reference number
ISO 13084:2018
Edición 2
2018-11
© ISO 2024
International Standard
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No disponible en español
Publicado (Edición 2, 2018)
Esta norma se revisó y confirmó por última vez en 2024. Por lo tanto, esta versión es la actual.

ISO 13084:2018

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Resumen

This document specifies a method to optimize the mass calibration accuracy in time-of-flight secondary ion mass spectrometry (SIMS) instruments used for general analytical purposes. It is only applicable to time-of-flight instruments but is not restricted to any particular instrument design. Guidance is provided for some of the instrumental parameters that can be optimized using this procedure and the types of generic peaks suitable to calibrate the mass scale for optimum mass accuracy.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2018-11
    Etapa
    : Norma Internacional confirmada [90.93]
  • Edición
     : 2
    Número de páginas
     : 15
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
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