Résumé
The method of determining the volume of gas which flows in unit time through the pump inlet are specified. The considered pumps discharge the gas against atmosphere pressure and achieve a limiting inlet pressure less than 100 pa in one stage.
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État actuel: AnnuléeDate de publication: 1993-11
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Edition: 2Nombre de pages: 3
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- 23.160 Technologie du vide
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