Résumé
PrévisualiserLe présent document, conjointement avec l'ISO 21360‑1, spécifie des méthodes pour le mesurage des caractéristiques fonctionnelles des pompes à vide turbomoléculaires. Elle est applicable à toutes les dimensions et tous les types de pompes turbomoléculaires, y compris:
— avec paliers mécaniques ou magnétiques;
— avec ou sans étage(s) supplémentaire(s) à entraînement mécanique ou autres étages de pompage sur l'arbre;
— avec un ou plusieurs orifices d'entrée.
Étant donné que les pompes à vide turbomoléculaires sont accouplées à des pompes de refoulement, leurs performances ne peuvent pas être complètement définies par la courbe de débit-volume. De plus, la pression de refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire est importante pour la performance.
Les informations suivantes complètent les caractéristiques de performance:
— des informations sur les débit et la pression de refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire;
— la courbe du taux de compression (taux de compression par rapport à la pression de refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire).
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2018-07
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Edition: 1Nombre de pages: 10
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- ICS :
- 23.160 Technologie du vide
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